壓力傳感器的制作材料多種多樣,以下是一些常見(jiàn)的材料:
金屬材料
鋁合金、合金鋼、不銹鋼等:具有良好的導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性和機(jī)械強(qiáng)度,可用于壓力傳感器的彈性體、接觸電極和外殼等部分。例如,在一些應(yīng)變式壓力傳感器中,金屬材質(zhì)的彈性體能夠在受到壓力時(shí)發(fā)生形變,通過(guò)測(cè)量其電阻變化來(lái)檢測(cè)壓力。
硅材料
單晶硅:是 MEMS 壓力傳感器中最常用的材料之一。具有自隔離、體漏電小、寄生電容小等特點(diǎn),可制作出高精度、高靈敏度的壓敏電阻。如 SOI 單晶硅壓力傳感器,采用單晶硅薄膜制作惠斯頓電橋的四個(gè)應(yīng)變電阻,相比多晶硅壓力傳感器,具有更高的靈敏度和更好的穩(wěn)定性。
多晶硅:常用于制造應(yīng)變電阻,構(gòu)成惠斯頓電橋。其工藝成熟,易于批量制作,成本低廉,量程可達(dá)到 6Mpa,工作溫度范圍為 -40 至 220℃。
陶瓷材料
氧化鋁陶瓷:具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點(diǎn),常用于制作陶瓷壓力傳感器的敏感元件。在高溫環(huán)境下,能夠保持良好的性能,適用于汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)等高溫環(huán)境中的壓力測(cè)量。
氮化硅陶瓷:也是一種常用的陶瓷材料,具有較高的強(qiáng)度和硬度,同時(shí)具備良好的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性,可用于制造高性能的壓力傳感器。
半導(dǎo)體材料
砷化鎵:是一種寬帶隙半導(dǎo)體材料,具有較高的電子遷移率和電子飽和速度,能夠?qū)崿F(xiàn)高速、高頻的信號(hào)傳輸,可用于制造高性能的壓力傳感器芯片。
碲化鎘:具有較好的光電性能和壓電性能,在一些特殊的壓力傳感器中有所應(yīng)用,如光電式壓力傳感器等。
有機(jī)材料
聚酰亞胺:具有優(yōu)良的絕緣性能、耐高溫性能和機(jī)械性能,可用于制作壓力傳感器的絕緣層或保護(hù)層,提高傳感器的穩(wěn)定性和可靠性。
硅橡膠:具有良好的彈性和密封性能,常用于壓力傳感器的密封件和防水部分,防止外界水分、灰塵等雜質(zhì)進(jìn)入傳感器內(nèi)部,影響其性能。
復(fù)合材料
碳纖維復(fù)合材料:具有高強(qiáng)度、低密度、良好的耐腐蝕性和抗疲勞性能,可用于制造輕量化、高強(qiáng)度的壓力傳感器結(jié)構(gòu)部件。
玻璃纖維復(fù)合材料:具有較高的強(qiáng)度和剛度,同時(shí)具備良好的絕緣性能和耐熱性能,可用于制作壓力傳感器的外殼或支架等部件。
天津力準(zhǔn)智能科技有限公司是專業(yè)生產(chǎn)高品質(zhì)、高精度測(cè)力傳感器廠家。主要產(chǎn)品有微型拉壓力傳感器、拉桿式拉壓傳感器、S型拉壓力傳感器、環(huán)形傳感器、柱式傳感器、軸銷(xiāo)類傳感器、稱重類傳感器、多軸力傳感器、扭矩傳感器、微型位移傳感器、壓力變送器(液壓傳感器)、變送器/放大器、控制儀表、以及手持儀等力控產(chǎn)品達(dá)千余種,并已獲得多項(xiàng)國(guó)家專 利;
- 產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于10多種新型和智能化高端領(lǐng)域,包括工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)線、3C、新能源、機(jī)器人、機(jī)械制造、醫(yī)療、紡織、汽車(chē)、冶金以及交通等領(lǐng)域;
- 產(chǎn)品技術(shù)持續(xù)創(chuàng)新、新品研發(fā)能力強(qiáng)。